GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本，因?yàn)樗藢?duì)壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。

• 較低的入口壓力操作
• 下游閥結(jié)構(gòu)
• 匹配的瞬態(tài)響應(yīng)
• 零泄漏控制閥
• 本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址
• 通過消除匹配和補(bǔ)償兩個(gè)獨(dú)立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術(shù)降低了測(cè)量不確定性，從而提高了精度、可重復(fù)性和漂移性能。
• 由于 GP200 差壓傳感器專門針對(duì)低壓差測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化，現(xiàn)在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實(shí)現(xiàn)更安全的工廠操作。
• 下游閥門結(jié)構(gòu)確保精度獨(dú)立于下游壓力，使流量能夠在高達(dá) 1200 Torr 的壓力下輸送?？焖訇P(guān)閉閥解決了非生產(chǎn)性配方等待時(shí)間或“尾部效應(yīng)”，這在上游 MFC 閥門設(shè)計(jì)中可見，需要額外的時(shí)間來排出其內(nèi)部氣體體積。
• 快、高度可重復(fù)的上升和下降流動(dòng)穩(wěn)定時(shí)間可在先進(jìn)的高循環(huán)沉積和蝕刻工藝中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的工藝控制。
• 閥門關(guān)閉性能提高 100 倍
• 借助 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量范圍通常可以按 3:1 的比例重新縮小，而不會(huì)影響規(guī)格的精度、量程比或泄漏，從而實(shí)現(xiàn)工藝和庫(kù)存靈活性
• 方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除

性能：

• 流量范圍（滿量程）：3 sccm - 50,000 sccm
• 準(zhǔn)確性：

零泄漏閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）

<±0.05％F。S.（0.5-5％F.S.）

金屬密封閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）

<±0.05％F。S.（2-5％F.S.）

• 可重復(fù)性：<±0.15％S.P.
• 響應(yīng)時(shí)間：280±20 ms匹配的瞬態(tài)響應(yīng)，對(duì)于任何上升或下降的非零設(shè)定點(diǎn)
• 多氣和范圍可配置性：MultiFlo標(biāo)準(zhǔn)
• 控制范圍：

零泄漏閥：0.5-100％F.S。

金屬密封閥：2-100％F.S。

• 零穩(wěn)定性：<±0.15％F.S每年
• 流動(dòng)溫度系數(shù)：

零：0.005％F.S 每°C

跨度：0.05％S.P.每°C

機(jī)械參數(shù)：

• 密封材料：金屬
• 純度 /表面飾面：5µ inch Ra avg
• 接液材料：316L

Hastelloy C-22

316/316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

PCTFE

• 閥門選項(xiàng)：通常關(guān)閉
• max溫度：60℃
• 壓差范圍：

min：7 psid

max：50 psid

• max壓力：150 psia