產品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。設計特點:-剛性金屬結構-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm-*大壓力500psig(34.5Bar)-泄漏率1*10大家好,下面由華聯(lián)歐官網小編分享給大家《供應AALBORG氣體流量計產品優(yōu)質供應商》。下面詳細解釋一下。現(xiàn)在讓我們來看看!道雖邇,不行不至;事雖小,不為不成;華聯(lián)歐將從每個細節(jié)做起,用心為客戶提供:專業(yè)的服務、優(yōu)良的產品,具有竟爭力的價格和貨期;我們時刻準備著為您提供專業(yè)、優(yōu)質、高效的服務,直到您滿意為止。實時為客戶提供工業(yè)自動化控制技術解決方案及售后支持服務。供應AALBORG氣體流量計全系列產品型號齊全,質量保證,售后完善,歡迎在線咨詢:誠信并重視每一位客戶,提供一對一專業(yè)服務~
產品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設計特點:
-剛性金屬結構
-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
-*大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設備
-0到100比例顯示
-可配備流量計算機
精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性:±0.5%滿量程
回應時間:實際流速±2%超過滿量程25-100一般2秒
溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar)
氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃)
輸出信號:0-5Vdc,*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出:+12Vdc;*大200Ω。+24Vdc可選
時間恒量:800ms


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