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INFICON Transpector HPR氣體分析系統
一致的靈敏度*優污染控制
該INFICON Transpector HPR結合了Transpector RGA的高性能與校準參考，以執行工具診斷和監測的自動化工具。 結合INFICON的強大功能FabGuard傳感器集成與分析系統 ，Transpector HPR具有自INFICON監控，以及監控的差異和缺陷的過程中工具的能力

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