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    MKS電容壓力計
    名稱:  MKS電容壓力計
    型號:  DA02B系列
    品牌:  MKS
    產(chǎn)地:  美國
    立即咨詢
    發(fā)布時間:  2023-10-30
    瀏覽次數(shù):  1120
    產(chǎn)品詳情

    本文收集整理了一些有關于美國MKS電容壓力計DA02B系列的產(chǎn)品信息,詳細介紹了美國MKS電容壓力計的產(chǎn)品特點,華聯(lián)歐優(yōu)惠銷售MKS電容壓力計,如果您有所需求,歡迎隨時您來電!

    1、美國MKS電容壓力計DA02B系列介紹
    MKS Baratron®電容壓力計具有高精度和可重復性,對氣體成分不敏感,結構緊湊,并且易于與大多數(shù)過程工具連接。他們幾乎完全使用鎳基合金制造隔膜壓力表,例如Inconel®、Incoloy®等。當材料與工藝相匹配時,這使得它們具有高度的耐腐蝕性。他們的傳感器在組裝前經(jīng)過完全焊接和100%泄漏檢查。如果隔膜發(fā)生極其罕見的故障,過程氣體將完全包含在傳感器內(nèi),防止逸出到外部環(huán)境。沒有其他壓力或真空計能夠提供這種安全級別。他們的高性能Baratron®電容壓力計能夠以高精度和高重復性測量獨立于氣體的絕對壓力。精度被指定為準確輸出信號的讀數(shù)的百分比,即使在刻度的低端也是如此。
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    2、美國MKS電容壓力計DA02B系列概述
    DA02B EtherCAT®Baratron®電容壓力計繼續(xù)將高性能發(fā)展到網(wǎng)絡系統(tǒng)中,使用行業(yè)標準EtherCAT數(shù)字通信連接到復雜的過程工具。EtherCAT Baratron壓力計基于經(jīng)過驗證的配備以太網(wǎng)的627C和628C Baratron產(chǎn)品,符合當前的SEMI®EtherCAT通用設備配置文件,專為在先進處理系統(tǒng)中使用而設計。

    3、美國MKS電容壓力計DA02B系列特點
    ①未加熱或控制至45°C、80°C或100°C
    ②EtherCAT®通信和與壓力成比例的0-10 VDC輸出
    ③滿量程測量范圍為0.1至1000 Torr(13.3 Pa至133.3 kPa)
    ④提供標準或蝕刻傳感器
    ⑤全焊接Inconel和Incoloy®傳感器具有極高的耐腐蝕性
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    4、美國MKS電容壓力計DA02B系列規(guī)格
    ①傳感器溫度:控制至45°C、80°C或100°C
    ②滿量程壓力范圍:0.1、0.25、1、2、10、20、50、100、200、500和1000托(和公制當量)
    ③解決:0.001%滿量程
    ④通訊協(xié)議:EtherCAT®
    ⑤模擬輸出:0-10 VDC輸入小于10Ω負載
    ⑥模擬連接器:15針D型超小型公頭
    ⑦數(shù)字連接器:兩(2)個RJ45母插座,用于輸入信號和網(wǎng)絡信號
    ⑧跨度溫度系數(shù):0.02%讀數(shù)/°C
    ⑨超壓限制:45磅/平方英寸(310千帕)

    5、美國MKS電容壓力計DA02B系列特征
    (1)Baratron®電容壓力計技術
    電容壓力計是機電壓力計,可以測量壓力和真空。電容計將薄隔膜中的壓力調(diào)制運動轉換成與壓力成比例的電信號。壓力傳感器是一個薄隔膜,暴露在通過入口管測量的壓力或真空中。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程和參考腔之間的壓力差coodyak使隔膜輕微偏轉,改變隔膜和電極之間的距離。該距離的變化會導致隔膜和電極之間的電容變化,從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號。由于電容信號的差異是由壓力計內(nèi)的物理變化產(chǎn)生的,而不是由氣體特性的變化產(chǎn)生的,因此電容壓力計的壓力測量與被測氣體的成分無關。

    (2)讀數(shù)準確率百分比
    精度指定為讀數(shù)的百分比,而不是滿量程,如某些性能較低的設備中所見。讀數(shù)精度百分比在最需要的壓力范圍較低范圍內(nèi)為您提供更準確的輸出信號。

    (3)內(nèi)部加熱至45°C、80°C或100°C
    這些電容壓力計的溫度控制為45°C、80°C或100°C,以提高精度。未加熱版本會暴露在環(huán)境溫度變化的環(huán)境中,這會降低傳感器的精度。這些設備將傳感器封裝在一個保持在高于環(huán)境溫度的恒定溫度的體積中。該解決方案通過減少或消除壓力計內(nèi)的過程污染,提高了壓力計的準確性和可重復性,并降低了儀器漂移。建議將加熱壓力計用于需要最大精度和可重復性、在環(huán)境溫度以上運行的應用以及使用熱氣體的過程。

    (4)絕對壓力測量
    這些Baratron®壓力傳感器以真空為參考進行絕對壓力測量。應用包括:真空爐、水果和蔬菜冷凍干燥、氣體激光器、汽車部件測試、瓶子涂層和真空蒸餾。

    (5)Inconel®和Incoloy®結構潤濕表面
    這些壓力傳感器采用Inconel®和Incoloy®鎳合金結構的壓力傳感器,使其能夠在幾乎任何化學環(huán)境(包括鹵素、去離子水和蒸汽以及臭氧)中無損壞地運行。傳感器完全焊接,沒有中間釬焊或連接材料。

    (6)0至10 VDC比例模擬輸出
    這些Baratron®電容壓力計具有與壓力呈線性關系的高電平0-10 VDC模擬輸出信號。該模擬輸出可與MKS壓力控制器、MKS電源/顯示儀器或滿足這些要求的任何儀器連接。

    (7)EtherCAT®通信
    這些支持e-Baratron EtherCAT®的電容壓力計繼續(xù)將高性能發(fā)展到網(wǎng)絡系統(tǒng)中,使用行業(yè)標準EtherCAT數(shù)字通信連接到復雜的過程工具。EtherCAT e-Baratron壓力計基于經(jīng)過驗證的配備以太網(wǎng)的627C和628C e-Baratron產(chǎn)品,符合當前的SEMI®EtherCAT通用設備規(guī)范,設計用于先進處理系統(tǒng)。

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